| 【项目成果摘要】 |
该项目针对微电子和微器件领域具有先进性和典型性的膜/基材料体系及其应用,提出相应的力学性能基本表征参量及实验准则,研究和确定恰当的力学性能表征参量,建立和完善相应的测试方法和技术规范。着重研究薄膜的纳米硬度、屈服强度、蠕辨应力指数、结合强度等薄膜结构参量的影响,建立基于纳米压入技术的力学性能表征与评价方法;形成了基于位错理论和能量观点的薄膜塑性及蠕变行为的物理模型和分析方法;提出了表面能和界面能对薄膜力学行为存在强约束、晶粒取向与薄膜应力存在强关联、压痕蠕变机理与压痕尺寸效应、薄膜结合强度存在划擦加载剥落和卸载剥落两类判据等新观点。揭示出基于小波分析和动力学标度的表面完整性参量与薄膜的若干特征组织性能参量可能存在量化关系,以及纳米多层膜硬度的双尺寸依赖性等物理机制。相关成果为薄膜材料力学行为和薄膜器件服役性能研究奠定了良好基础。; |