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微机构可调谐阵列光学滤光器的研究
微机构可调谐阵列光学滤光器的研究
【项目名称】 微机构可调谐阵列光学滤光器的研究
【项目编号】 69976026
【项目目标】
【项目关键词】 光学滤光器 SiOx 微机构 薄膜光学常数 可调谐 磁控反应溅射 折射率 溅射速率 连续变化 光学常数 流量比 单调变化 薄膜 化学成分 透射率 禁带宽度 氮氧化硅薄膜 单纯型法 傅立叶光谱 模型计算 SiOxNy薄膜 X光光电子能谱 傅里叶光谱 电子科技 高温氮化 减反射膜 氧比 基板温
【项目承办单位】 浙江大学;
【项目负责人】 刘旭;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业;物理学
【科研经费】 14万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 1999-01-16
    【申请截止时间】 1999-03-31
    【立项时间】 2000-01
    【完成时间】 2002-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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