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自组装GaN量子点结构的ECR－PAMOCVD生长及特性
自组装GaN量子点结构的ECR－PAMOCVD生长及特性
【项目名称】 自组装GaN量子点结构的ECR－PAMOCVD生长及特性
【项目编号】 69976008
【项目目标】
【项目关键词】 GaN量子点 清洗 ECR PAM 氮化 清洗时间 RHEED 纯氢 电子回旋共振等离子体 GaN 砷化物 蓝宝石衬底 氮等离子体 低温生长 氮化物 自组装 反射高能电子衍射 量子点 AlN 晶质 衬底 GaN薄膜 金属有机化学气相沉积 单晶薄膜 蓝宝石 等离子体 缓冲层 Al2O3 平整 GaAs 六方AlN 氢等
【项目承办单位】 大连理工大学;
【项目负责人】 徐茵;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 15.3万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 1999-01-16
    【申请截止时间】 1999-03-31
    【立项时间】 2000-01
    【完成时间】 2002-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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