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微电子机械声传感器和传动器研究
微电子机械声传感器和传动器研究
【项目名称】 微电子机械声传感器和传动器研究
【项目编号】 19974018
【项目目标】
【项目关键词】 微电子机械 声传感器 传动器 ZnO薄膜 溅射 溅射沉积 基片加热 溅射气压 陶瓷靶 轴长 台阶仪 压电性 氧气 氧化锌薄膜 玻璃基片 ZnO 纯度高 氧化锌 薄膜 光电性 ZnO膜 金属有机物汽相外延 压光效应 压电 氧化锌晶体 磁控射频溅射 反射功率 溅射方法 混合比率 电声换能器 原?
【项目承办单位】 南京大学;
【项目负责人】 张淑仪;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 工业通用技术及设备
【科研经费】 20万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 1999-01-16
    【申请截止时间】 1999-03-31
    【立项时间】 2000-01
    【完成时间】 2002-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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