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高气压下介质阻挡放电沉积类金刚石膜及其机理研究
高气压下介质阻挡放电沉积类金刚石膜及其机理研究
【项目名称】 高气压下介质阻挡放电沉积类金刚石膜及其机理研究
【项目编号】 50002002
【项目目标】
【项目关键词】 类金刚石膜 介质阻挡放电 基片负偏压 感应耦合等离子体源 高气压 离子能量 化学气相沉积 CH4 感应耦合等离子体 沉积过程 类金刚石 薄膜沉积 气压 硬度 CH_4 机理研究 薄膜 高硬度 显微硬度 离子 发射光谱 中性基团 双温模型 折合电场强度 中运 能量 沉积气压 发射光谱诊断
【项目承办单位】 大连理工大学;
【项目负责人】 俞世吉;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 工业通用技术及设备
【科研经费】 18万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2000-01-16
    【申请截止时间】 2000-03-31
    【立项时间】 2001-01
    【完成时间】 2003-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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