飞秒激光超精细微加工机理与技术研究
【项目名称】 飞秒激光超精细微加工机理与技术研究
【项目编号】 60078004
【项目目标】
【项目关键词】 细微加工 超精 飞秒激光
【项目承办单位】 中国科学院西安光学精密机械研究所;
【项目负责人】 赵卫;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 物理学
【科研经费】 19万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2000-01-16
    【申请截止时间】 2000-03-31
    【立项时间】 2001-01
    【完成时间】 2003-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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