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大范围实用型二维纳米定位控制及测量技术
大范围实用型二维纳米定位控制及测量技术
【项目名称】 大范围实用型二维纳米定位控制及测量技术
【项目编号】 50105016
【项目目标】
【项目关键词】 纳米定位 压电电动机 微动台 实用型 步距 运动原理 大行程 测量技术 单驱动器 大范围 双驱动 纳米级 压电 驱动电源 二维 电动机 接力 激光干涉 位移测量 电源 行程 误差 压电陶瓷 激光干涉条纹 光程差倍增 光路布局 阿贝原则 激光干涉测量 纹波电压 激光干涉测量系统 细分
【项目承办单位】 天津大学;
【项目负责人】 赵美蓉;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 自动化技术
【科研经费】 22万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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