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微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究
微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究
【项目名称】 微光机电法布里-珀罗电光调制器技术基础研究
【项目编号】 60177009
【项目目标】
【项目关键词】 法布里 电光调制器 微光 FP腔 机电 硅微机械 金属蒸发 器件 阈值电压 静电激励 光学衰减器 衰减器 光学滤波器 上电极 光纤通信技术 湿法腐蚀 牺牲层 基本结构 光学器件 氮化硅 氧化硅 化学气相沉积 刻蚀 表面微机械技术 条梁 滤波器 外电压 悬空结构 连续调谐 薄膜工艺 LP
【项目承办单位】 北京理工大学;
【项目负责人】 孙雨南;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 20万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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