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MOCVD法生长高阻ZnO薄膜及其紫外光探测器的研制
MOCVD法生长高阻ZnO薄膜及其紫外光探测器的研制
【项目名称】 MOCVD法生长高阻ZnO薄膜及其紫外光探测器的研制
【项目编号】 60176026
【项目目标】
【项目关键词】 ZnO薄膜 MOCVD法 紫外光探测器 高阻 NH_3 MOCVD方法 气流量 退火 光荧光 O_2 掺氮 电阻率 PL谱 流量 半峰全宽 MOCVD 低压MOCVD p型 深能级 发射光 等离子体增强 电导 结晶质量 富锌 光致发光特性 薄膜 上生 发射峰 掺杂 衍射峰 高阻材料 柱状生长 载流于浓度 射线衍射 无?
【项目承办单位】 吉林大学;
【项目负责人】 杜国同;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 24万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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