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高温超导多层薄膜布图技术研究
高温超导多层薄膜布图技术研究
【项目名称】 高温超导多层薄膜布图技术研究
【项目编号】 60176019
【项目目标】
【项目关键词】 布图 多层薄膜 高温超导
【项目承办单位】 贵州大学;
【项目负责人】 傅兴华;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 17万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
      【项目成果摘要】 该项目设计和建立起辐射加热、高频感应加热、低压电阻加热三套超导薄膜制备实验系统,在最先采用乙硼烷气体作为制备硼先驱膜的材料,以化学气相沉积(CVD)方法,在多晶和单晶氧化铝衬底上制备出性能较为优良的超导薄膜,开创了低成本制备超导薄膜的新路子,在两步法的基础上,开发了双加热器一步法制备工艺本研究小组发明的化学气相沉积工艺,较好地克服了上述困难,设备和原材料成本低廉,工艺简单,且与微电子工艺兼容,可大面积制备硼化镁超导薄膜,为硼化镁超导薄膜在超导电子技术中的应用打下了重要基础。;
      【发布单位】 国家自然科学基金委员会
      【发布时间】 2001-01-16
      【申请截止时间】 2001-03-31
      【立项时间】 2002-01
      【完成时间】 2004-12
      【申请条件】
      【联系方式】
      【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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