| 【项目成果摘要】 |
MEMS是用硅工艺制造的微小器件,它和一般IC的主要不同点是在运行过程中要产生变形或者与其他物质有相对运动。因此,制造出来的MEMS器件的机械性能能不能达到设计的要求,是成功的关键。该课题从三个方面进行研究：动态模型建立及虚拟运行,虚拟MEMS加工工艺,部件库。该课题解决了包括虚拟工艺、虚拟显微镜和虚拟运行等几项关键技术,完成了两种标准工艺的虚拟加工过程,建立了包含若干典型部件的部件库(双金属驱动膜片、悬臂梁结构和微马达动力学方程)和倾斜物体显微镜成像模型、三角元成像模型,实现了对部件的组装以及动态模型的建立,最终将各项关键技术集成为具有部件库的MEMS设计环境,并在此设计环境中对微泵和微加速度计进行了再设计。; |