当前位置：
数字出版物超市 >> 
表面形貌三维MOTIF评定方法及相关测量技术研究
表面形貌三维MOTIF评定方法及相关测量技术研究
【项目名称】 表面形貌三维MOTIF评定方法及相关测量技术研究
【项目编号】 50175037
【项目目标】
【项目关键词】 相关测量技术 MOT 评定方法 白光干涉 工作台 迈克尔逊干涉 垂直扫描 三维形貌测量 光电管 三维轮廓测量 合并算法 干涉显微镜 排列方法 表面形貌 高精度位移 递归算法 样板 三维 定位精度 位移传感器 对标 位移 闭环检测 双频激光干涉 两级定位 理论分辨力 垂直分辨力 工作
【项目承办单位】 华中科技大学;
【项目负责人】 谢铁邦;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业
【科研经费】 20万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
    加载本项目科研成果产出报表....
    加载本项目科研成果....
    加载项目负责人以往科研成果....
    加载同类科研项目成果比较....
    加载本项目科研成果引证文献....
    加载学术文献....
    加载所属大项目下的其它项目....
    加载相关研究人员....
    加载相关研究机构....