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纳米三座标测量机关键技术的研究
纳米三座标测量机关键技术的研究
【项目名称】 纳米三座标测量机关键技术的研究
【项目编号】 50175024
【项目目标】
【项目关键词】 三座标测量机 差动 变式 位移传感器 并行共焦 像散 共焦 应变片 多光束 悬臂梁结构 微透镜阵列 并行共焦检测 三维形貌检测 三维探测 轴向分辨率 并行检测 光斑 采样间距 点光源 三维形貌 扫描 纳米 检测系统 特性参数 悬臂梁 应变 半导体应变片 转换元件 光聚焦探测 并行?
【项目承办单位】 合肥工业大学;
【项目负责人】 余晓芬;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 自动化技术
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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