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微机电系统所用材料与结构的拉伸测试方法研究
微机电系统所用材料与结构的拉伸测试方法研究
【项目名称】 微机电系统所用材料与结构的拉伸测试方法研究
【项目编号】 10172086
【项目目标】
【项目关键词】 拉伸测试 微机电系统 表面工程 纳米划痕硬度 微尺度力学 纳米压痕硬度 MEMS材料 划痕 纳米硬度 块体材料 技术测量 微电子机械系统 力学性能 微型试样 横剖面 拉伸 弯曲 弹性模量 力学性能检测 测试材料 纳米硬度计 材料表 迅速崛起 纳米力学 发展需求 薄膜 疲劳强度 弯曲?
【项目承办单位】 中国科学院力学研究所;
【项目负责人】 杨业敏;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 材料科学
【科研经费】 22万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-01-16
    【申请截止时间】 2001-03-31
    【立项时间】 2002-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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