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高分辨率X射线成像----微间隙室的研制
高分辨率X射线成像----微间隙室的研制
【项目名称】 高分辨率X射线成像----微间隙室的研制
【项目编号】 60202008
【项目目标】
【项目关键词】 微间隙室 MGC 金刚石薄膜 X射线成像 绝缘介质层 微条 阳极 电极间 微细加工工艺 套准 绝缘层 电极 计数率 阴极 反应离子刻蚀 雪崩 漂移 阴极间距 刻蚀比 初级电离 金属阳极 放大区 离子量 探测区 间隙 刻蚀气体 多丝正比室 制备技术 位置探测器 背底 热丝CVD法 气体探测器
【项目承办单位】 上海大学;
【项目负责人】 卞建江;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 20万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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