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纳米电子束曝光的散射参数模型研究
纳米电子束曝光的散射参数模型研究
【项目名称】 纳米电子束曝光的散射参数模型研究
【项目编号】 60276019
【项目目标】
【项目关键词】 单电子晶体管 散射参数 纳米电子 曝光 主方程 库仑台阶 邻近效应 电子束光刻技术 抗蚀剂显影 抗蚀剂 器件模型 电子束曝光系统 模型研究 结电阻 纳米器件 元胞自动机 I-V 电容 特性曲线 电子 掩模制造 电子束技术 显影 电阻 金属隧道结 电子束聚焦 显影轮廓 电导振荡 隧穿?
【项目承办单位】 中国科学院微电子研究所;
【项目负责人】 刘明;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 22万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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