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高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究
高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究
【项目名称】 高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究
【项目编号】 60276001
【项目目标】
【项目关键词】 声表面波滤波器 C轴取向 LiNbO3 金刚石 镜面抛光 混合气氛 微波等离子体化学气相沉积 ZnO薄膜 硅基片 声表面波 金刚石薄膜 驱气 SAW器件 刻蚀 高频 薄膜 择优取向 导热特性 平滑度 衍射峰强度 外加偏压 压电薄膜 纳米金刚石 X射线衍射分析 基底 磁控溅射法 射频磁控溅射 ?
【项目承办单位】 天津理工大学;
【项目负责人】 杨保和;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学;物理学
【科研经费】 20万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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