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微机电系统中的运动检测技术
微机电系统中的运动检测技术
【项目名称】 微机电系统中的运动检测技术
【项目编号】 50275108
【项目目标】
【项目关键词】 音叉 运动检测 谐振器 微机电系统 差动 多普勒信号 梳齿 被测器件 双端固定音叉 加速度计 时频分析 激光多普勒 谐振式 多普勒技术 体硅工艺 速度信息 振动速度 面内 多普勒 光路 硅微机械 瞬时速度 电容 MEMS器件 谐振频率 激光 振动频率 输出 器件 位移 结构层厚度 动态?
【项目承办单位】 天津大学;
【项目负责人】 张国雄;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 22万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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