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微机电系统中磨擦表面微观形貌设计与修饰研究
微机电系统中磨擦表面微观形貌设计与修饰研究
【项目名称】 微机电系统中磨擦表面微观形貌设计与修饰研究
【项目编号】 50275071
【项目目标】
【项目关键词】 准分子激光加工 表面微观形貌 磨擦 微摩擦测试 微机电系统 准分子激光 微摩擦 陶瓷材料 CAD 修饰表面 Al2O3陶瓷 均方根值 工艺参数 摩擦系数 MEMS 形貌特征 表面修饰 硅微机械结构 高度参 微摩擦性能 微型马达 表面形貌 微摩擦学 PZT压电陶瓷 原始表面 激光扫描速度 算术?
【项目承办单位】 南昌大学;
【项目负责人】 刘莹;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 金属学及金属工艺
【科研经费】 25万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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