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谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
【项目名称】 谐振式硅微结构压力传感器优化设计与闭环系统实现
【项目编号】 50275009
【项目目标】
【项目关键词】 硅微结构 谐振式传感器 谐振式 压力传感器 双谐振 谐振器 结构谐振 圆膜 频率特性 闭环系统 敏感元件 谐振频率 频率特性测试 Q值 差动 闭环控制系统 传感器 非线性振动 移相 谐振子 自激 多尺度法 微传感器 自由振动 结构参数 相移 振动频率 闭环 硅梁 开环测试 开环特性
【项目承办单位】 北京航空航天大学;
【项目负责人】 樊尚春;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 自动化技术
【科研经费】 24万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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