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TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究
TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究
【项目名称】 TiN/Si3N4纳米复合薄膜及其深孔狭缝表面附着强度的研究
【项目编号】 50271053
【项目目标】
【项目关键词】 Ti-Si-N 纳米复合薄膜 TiN 表面附着 深孔 盲孔 Si3N4 TiN薄膜 等离子体辅助化学气相沉积 薄膜 PCVD 摩擦系数 反应磁控溅射 脉冲 直流PCVD 摩擦磨损性能 球盘 TiCN 抗磨损性能 薄膜硬度 摩擦磨损 耐磨性能 显微硬度 化学气相沉积 磁控溅射 摩擦磨损特性 力学性能。 结合力
【项目承办单位】 西安交通大学;
【项目负责人】 马胜利;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 材料科学
【科研经费】 25万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2001-12-04
    【申请截止时间】 2002-03-31
    【立项时间】 2003-01
    【完成时间】 2005-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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