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系统芯片的高效定点微机电热电制冷技术研究
系统芯片的高效定点微机电热电制冷技术研究
【项目名称】 系统芯片的高效定点微机电热电制冷技术研究
【项目编号】 60306013
【项目目标】
【项目关键词】 热电制冷 热电制冷器 微机电 系统芯片 热电 微电子工艺 衬底 热电器件 制冷功率 绝缘层 器件 泄漏 热电材料 热电偶 淀积 热导率 电子器件 Peltier效应 制冷区 硅杯结构 热流方向 MEMS 薄膜半导体 绝缘膜 薄膜 尺寸 冷端温度 Bi2Te3 最大温差 厚度 非理想因素 制冷系数 臂?
【项目承办单位】 北京理工大学;
【项目负责人】 廖波;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 7万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2002-12-16
    【申请截止时间】 2003-03-31
    【立项时间】 2004-01
    【完成时间】 2004-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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