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磁过滤等离子体制备高质量纳米尖点阵列研究
磁过滤等离子体制备高质量纳米尖点阵列研究
项目基本信息
[信息不全或有误,联系"中国知网"]
【项目名称】
磁过滤等离子体制备高质量纳米尖点阵列研究
【项目编号】
60376039
【项目目标】
【项目关键词】
磁过滤等离子体 尖点 AlN 摩擦磨损性能 多层膜 纳米多层膜 铝质材料 层厚比 高质量 调制周期 纳米 磁控溅射 薄膜 柱状 硬度 摩擦系数 耐磨性 单层厚度 纳米多层薄膜 高抗热震性 降低磨损 制备 单层 粘接力 磨穿 工业纯 阳极氧化膜 国防工业 比强度高 金属层 接触应力 改性
【项目承办单位】
兰州大学;
【项目负责人】
阎鹏勋;
【项目来源】
国家自然科学基金项目
【涉及学科】
材料科学;工业通用技术及设备
【科研经费】
24万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
【项目参与研究机构】
【项目成果摘要】
【发布单位】
国家自然科学基金委员会
【发布时间】
2002-12-16
【申请截止时间】
2003-03-31
【立项时间】
2004-01
【完成时间】
2006-12
【申请条件】
【联系方式】
【项目信息来源】
https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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