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高线密度自支撑透射光栅超微细加工技术研究
高线密度自支撑透射光栅超微细加工技术研究
【项目名称】 高线密度自支撑透射光栅超微细加工技术研究
【项目编号】 50375149
【项目目标】
【项目关键词】 变间距光栅 超微细加工技术 透射光栅 自支撑 高线 位移传感器 线密度 激光脉冲压缩 球面波 全息记录 全息光栅 衍射光栅 高强度激光 误差曲线 几何理论 方程系数 平面 超高强度 密度 优化计算 遗传算法 光栅 变化系数 目标函数 多层介质膜 线距 高损伤阈值 参数误差 系统分
【项目承办单位】 中国科学技术大学;
【项目负责人】 徐向东;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 自动化技术;无线电电子学
【科研经费】 22万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2002-12-16
    【申请截止时间】 2003-03-31
    【立项时间】 2004-01
    【完成时间】 2006-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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