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红外探测器阵列中组分梯度铁电薄膜的界面特性研究
红外探测器阵列中组分梯度铁电薄膜的界面特性研究
【项目名称】 红外探测器阵列中组分梯度铁电薄膜的界面特性研究
【项目编号】 50372017
【项目目标】
【项目关键词】 组分梯度 MgO掺杂 BST薄膜 BST陶瓷 陶瓷靶材 界面特性 铁电薄膜 红外探测器 刻蚀速率 CF4 BST 铁电性能 MgO含量 刻蚀气体 BST铁电薄膜 磁增强 靶材 介电性能 陶瓷 气体流量比 溶胶–凝胶法 薄膜 XRD衍射 介电 反应离子刻蚀 预烧 刻蚀 制备工艺 介电损耗 居里温度 无机非金
【项目承办单位】 湖北大学;
【项目负责人】 章天金;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2002-12-16
    【申请截止时间】 2003-03-31
    【立项时间】 2004-01
    【完成时间】 2006-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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