当前位置：
数字出版物超市 >> 
(TiAl)N/Si3N4纳米复合超硬薄膜的稳定性研究
(TiAl)N/Si3N4纳米复合超硬薄膜的稳定性研究
【项目名称】 (TiAl)N/Si3N4纳米复合超硬薄膜的稳定性研究
【项目编号】 50371067
【项目目标】
【项目关键词】 超硬薄膜 Ti-Si-N Si3N4 TiN 纳米复合 Si含量 稳定性研究 PCVD 显微硬度 薄膜 薄膜硬度 磁控溅射 氧含量 复相结构 纳米薄膜 TiSiN 比磨损率 Ti(C,N) 脉冲 硬度 摩擦磨损性能 化学气相沉积 原子分数 摩擦磨损特性 摩擦系数 TiC 摩擦因数 直流等离子体化学气相沉积 晶界 晶?
【项目承办单位】 西安交通大学;
【项目负责人】 马胜利;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 工业通用技术及设备;材料科学
【科研经费】 28万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2002-12-16
    【申请截止时间】 2003-03-31
    【立项时间】 2004-01
    【完成时间】 2006-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
    加载本项目科研成果产出报表....
    加载本项目科研成果....
    加载项目负责人以往科研成果....
    加载同类科研项目成果比较....
    加载本项目科研成果引证文献....
    加载学术文献....
    加载所属大项目下的其它项目....
    加载相关研究人员....
    加载相关研究机构....