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加速器—电镜联机及其在材料科学中的应用
加速器—电镜联机及其在材料科学中的应用
项目基本信息
[信息不全或有误,联系"中国知网"]
【项目名称】
加速器—电镜联机及其在材料科学中的应用
【项目编号】
10435060
【项目目标】
【项目关键词】
联机 加速器 离化团 材料科学 ZnO薄膜 电镜 离子注入机 c轴取向 原子团簇 成膜 国产200 电镜样品 超音速喷嘴 离化率 氧离子束 衬底加热 氩氧比 门装置 联机系统 衬底偏压 束技术 等离子体源 原子百分比 日立 串列加速器 离化 沉积技术 原位观测 武汉大学 离子源 硅衬底 传
【项目承办单位】
武汉大学;
【项目负责人】
范湘军;
【项目来源】
国家自然科学基金项目
【涉及学科】
材料科学;核科学技术
【科研经费】
200万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
【项目参与研究机构】
【项目成果摘要】
【发布单位】
国家自然科学基金委员会
【发布时间】
2004-01-04
【申请截止时间】
2004-03-31
【立项时间】
2005-01
【完成时间】
2008-12
【申请条件】
【联系方式】
【项目信息来源】
https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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