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离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
【项目名称】 离子注入MEMS硅器件表面的微摩擦学性能研究
【项目编号】 50405042
【项目目标】
【项目关键词】 硅器件 氮离子注入 微摩擦学 注入能量 蚕丝 纳米硬度 单晶硅片 单晶硅 离子注入 水凝胶 硅片 MEMS 微摩擦磨损 PVA 纳米力学 摩擦系数 载荷 弹性模量 微压痕 往复滑动 微摩擦 性能研究 聚乙烯醇 磨痕 注入剂量 发射信号 原子力 减摩 测试系统 试验机 摩擦磨损性能 定值 去?
【项目承办单位】 中国矿业大学;
【项目负责人】 张德坤;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 金属学及金属工艺
【科研经费】 25万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-01-04
    【申请截止时间】 2004-03-31
    【立项时间】 2005-01
    【完成时间】 2007-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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