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微/纳机械器件的辐射损伤及其机理研究
微/纳机械器件的辐射损伤及其机理研究
【项目名称】 微/纳机械器件的辐射损伤及其机理研究
【项目编号】 60476033
【项目目标】
【项目关键词】 腐蚀速率 辐射损伤 牺牲层 微机械陀螺 接口电路 机械 器件 修正模型 机理研究 闭环 腐蚀液浓度 腐蚀模型 差分电容 过腐蚀 节省时间 自动增益控制 系统灵敏度 非线性度 驱动信号 精确预测 因素研究 输出端 函数 陀螺 MEMS器件 输出信号 重大意义 扩散系数 MEMS 各种因素 腐
【项目承办单位】 浙江大学;
【项目负责人】 金仲和;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 27万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-01-04
    【申请截止时间】 2004-03-31
    【立项时间】 2005-01
    【完成时间】 2007-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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