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扫描探针显微镜制备纳米样板及其量值溯源的研究
扫描探针显微镜制备纳米样板及其量值溯源的研究
【项目名称】 扫描探针显微镜制备纳米样板及其量值溯源的研究
【项目编号】 50475086
【项目目标】
【项目关键词】 纳米样板 量值溯源 有效参数 线宽测量 AFM 扫描探针显微镜 圆锥体 样板 探针 线宽 安装状态 原位 轮廓测量 原子力显微镜 球面 梯形截面 掩膜板 定义 横向分辨率 几何角度 有效半径 台阶高度 扫描电子显微镜 截面测量 制备 微电子工业 修正公式 复合形 斜度 内角 原位表征
【项目承办单位】 西安交通大学;
【项目负责人】 景蔚萱;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-01-04
    【申请截止时间】 2004-03-31
    【立项时间】 2005-01
    【完成时间】 2007-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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