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纳米Si-in-SiNx 和Si-in-SiC高效发光薄膜
纳米Si-in-SiNx 和Si-in-SiC高效发光薄膜
【项目名称】 纳米Si-in-SiNx 和Si-in-SiC高效发光薄膜
【项目编号】 50472070
【项目目标】
【项目关键词】 发光薄膜 纳米Si 硅量子点 量子限域效应 硅基 PECVD 等离子体增强化学气相沉积 埋置 光致发光 复合薄膜 纳米结构硅 微米 硅基发光材料 薄膜 衬底 多层复合薄膜 硅离子 半导体 上循环 等离子增强化学气相沉积 集成工艺 控制生长 生长工艺 低温生长 光电子集成 能量色散 光?
【项目承办单位】 中国科学院物理研究所;
【项目负责人】 王永谦;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 物理学
【科研经费】 25万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-01-04
    【申请截止时间】 2004-03-31
    【立项时间】 2005-01
    【完成时间】 2007-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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