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（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
（类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
【项目名称】 （类）金刚石薄膜特征表面制造与机理研究
【项目编号】 50472010
【项目目标】
【项目关键词】 特征表面 金刚石薄膜 辐射探测器 CVD金刚石 大气压 二氧化硅薄膜 CVD 金刚石 薄膜沉积 机理研究 氩气 等离子体 金刚石质量 六甲基二硅氧烷 稀释气体 辐射探测 等离子体化学气相沉积 功率比 红外吸收谱 碳键 合成金刚石 时间响应 表面分析 热点研究 研究兴趣 薄膜 低气压 ?
【项目承办单位】 中国科学技术大学;
【项目负责人】 朱晓东;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 材料科学;物理学
【科研经费】 25万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-01-04
    【申请截止时间】 2004-03-31
    【立项时间】 2005-01
    【完成时间】 2007-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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