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高气压低温等离子体中自由基的光腔衰荡光谱原位诊断
高气压低温等离子体中自由基的光腔衰荡光谱原位诊断
【项目名称】 高气压低温等离子体中自由基的光腔衰荡光谱原位诊断
【项目编号】 10475015
【项目目标】
【项目关键词】 光腔衰荡光谱 氢原子 高气压 低温等离子体 介质阻挡放电 解离率 自由基 氢分子 原位 诊断 氢等离子体 放电参数 发射光谱 气压 诊断研究 实验装置 浓度 率性 等离子体显示 无声放电 地电极 高压电极 材料表面处理 技术诊断 等离子体 短波长光 诊断手段 氟原子 等离子体刻蚀
【项目承办单位】 大连理工大学;
【项目负责人】 徐勇;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 物理学
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-01-04
    【申请截止时间】 2004-03-31
    【立项时间】 2005-01
    【完成时间】 2007-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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