当前位置：
数字出版物超市 >> 
微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究
微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究
【项目名称】 微型机械电子系统（MEMS）测试计量技术与理论研究
【项目编号】 50535030
【项目目标】
【项目关键词】 微型机械电子系统 测试计 相位解包裹 MEMS 动态应力测试 集成测试 掩膜版 系统级设计 相位展开 NEMS 拉曼光谱仪 MEMS测试 表面轮廓测量 宏模型 辅助设计工具 测试装置 微机电系统 高频调制 SolidWorks 轮廓测量 测试系统 器件结构 动态应力 理论研究 微结构 杨氏模量 谐振
【项目承办单位】 西安交通大学;
【项目负责人】 蒋庄德;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业
【科研经费】 240万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    >>更多
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2009-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
    加载本项目科研成果产出报表....
    加载本项目科研成果....
    加载项目负责人以往科研成果....
    加载同类科研项目成果比较....
    加载本项目科研成果引证文献....
    加载学术文献....
    加载所属大项目下的其它项目....
    加载相关研究人员....
    加载相关研究机构....