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采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究
采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究
【项目名称】 采用二维自适应流体模型对高速率微晶硅生长机理的研究
【项目编号】 60506003
【项目目标】
【项目关键词】 微晶硅 微晶硅薄膜 甚高频等离子体增强化学气相沉积 流体模型 高速率 背反射 太阳电池 短路电流 硅烷 激发频率 电池 生长机理 沉积速率 辉光功率 总流量 填充因子 晶化率 孵化 开路电压 甚高频 等离子增强化学气相沉积 光电转换效率 二维 电学特性 电极 密度 结构特性 浓?
【项目承办单位】 南开大学;
【项目负责人】 张晓丹;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 24万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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