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亚50纳米金属栅体硅多栅CMOS器件及关键技术研究
亚50纳米金属栅体硅多栅CMOS器件及关键技术研究
【项目名称】 亚50纳米金属栅体硅多栅CMOS器件及关键技术研究
【项目编号】 60576032
【项目目标】
【项目关键词】 多栅 CMOS器件 体硅 多晶硅栅 高k栅介质 纳米金属 HfO2 难熔金属栅 难熔金属 栅介质 关键技术研究 晶体管 硼穿透 替代者 穿通 栅材料 金属栅 SiO2 集成电路技术 PMOS 热力学稳定性 CMOS工艺 高介电常数 尺寸 结晶温度 特征尺寸 微电子技术 电学特性 高速发展 电阻 制备工?
【项目承办单位】 中国科学院微电子研究所;
【项目负责人】 徐秋霞;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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