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微尺度下表界面动态粘着接触机理与MEMS粘附控制的研究
微尺度下表界面动态粘着接触机理与MEMS粘附控制的研究
【项目名称】 微尺度下表界面动态粘着接触机理与MEMS粘附控制的研究
【项目编号】 50575123
【项目目标】
【项目关键词】 接触机理 爪垫 光滑壁面 硅表面 粘附 微尺度 粘着力 环境湿度 MEMS 接触角 液桥 粗糙表面 浸润性 凹坑 微间隙 粘滑现象 液体薄膜 修饰表面 湿法刻蚀 液体 湿度 昆虫 粘滑 毛细作用 界面 高湿度 硅材料 形貌 自行开发 摩擦力 法向 黏着力 摩擦力测试 接触角滞后现象 峰值力
【项目承办单位】 清华大学;
【项目负责人】 张向军;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学;物理学
【科研经费】 27万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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