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基于AFM金刚石微探针的纳米加工机理研究
基于AFM金刚石微探针的纳米加工机理研究
【项目名称】 基于AFM金刚石微探针的纳米加工机理研究
【项目编号】 50575058
【项目目标】
【项目关键词】 机械刻划 微探针 纳米加工 AFM 微纳米 金刚石 MEMS器件 纳米尺度 探针 扫描探针显微术 机理研究 摩擦磨损 结构轮廓 LIGA技术 加工实例 微小结构 尺度结构 NEMS 技术设备 加工领域 字体 加工机理 二维结构 多种材料 发展需求 微传感器 简单可靠 大规模集成电路 掩模 MEMS技
【项目承办单位】 哈尔滨工业大学;
【项目负责人】 孙涛;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 金属学及金属工艺
【科研经费】 27万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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