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特种玻璃芯片材料制备与纳米碳管电极阵列集成研究
特种玻璃芯片材料制备与纳米碳管电极阵列集成研究
【项目名称】 特种玻璃芯片材料制备与纳米碳管电极阵列集成研究
【项目编号】 50572075
【项目目标】
【项目关键词】 微波等离子体化学气相沉积法 纳米碳管 芯片材料 特种玻璃 电极阵列 电化学检测 SiO2膜 电极 金刚石膜 纳米晶粒 正硅酸乙酯 二氧化硅膜 混合气体 邻苯二酚 表面反应 长期稳定性 氢气 甲醇 低温条件 最佳工艺条件 晶粒 压强 微波等离子体CVD 射频偏压 金刚石 拉曼光谱 制备
【项目承办单位】 武汉工程大学;
【项目负责人】 王升高;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 无线电电子学;材料科学
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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