| 【项目成果摘要】 |
进行等离子体诊断,研究等离子区电子温度、电子密度、电子能量分布及粒子种类。研究金属等离子体与基体原子相互作用,研究离子轰击损伤层的缺陷密度。用分子动力学方法模拟损伤层空位、位错等缺陷对原子扩散的影响。从化合物生成自由焓分析从工件溅射逸出的原子特别是碳原子与从源极溅射逸出的金属原子合成化合物的可能性及这种化合物对工件表面形成沉积层的影响。观察离子轰击试样的表面形貌,分析渗层、沉积层相组成及结构并研究沉积层对吸附原子扩散的影响,弄清离子渗金属原子扩散机制,从而搞清楚离子渗金属比普通固体渗金属、液体渗金属速度快的本质。; |