硅表面金属螯合的单分子膜技术
【项目名称】 硅表面金属螯合的单分子膜技术
【项目编号】 20571042
【项目目标】
【项目关键词】 金属螯合 硅表面 单分子膜 氮化钛薄膜 临界载荷 超声波分散 机械性能 纳米微粒 负偏压 薄膜 内应力 择优取向 光学性能 刻划实验 磁过滤阴极弧等离子体 晶体择优取向 阴极弧 表面颗粒 完全弹性 硫粉 X射线粉末衍射仪 弹-塑性 金属锡 XRD技术 磁过滤 有机介质 TiN薄膜 氮化?
【项目承办单位】 南京大学;
【项目负责人】 肖守军;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 工业通用技术及设备;材料科学
【科研经费】 26万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
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