当前位置：
数字出版物超市 >> 
纳米级应力传感器方法在测试MEMS微纳器件及纳米尺度应力和变形中的应用研究
纳米级应力传感器方法在测试MEMS微纳器件及纳米尺度应力和变形中的应用研究
【项目名称】 纳米级应力传感器方法在测试MEMS微纳器件及纳米尺度应力和变形中的应用研究
【项目编号】 10572118
【项目目标】
【项目关键词】 热障涂层 应力传感器 残余应力 粘结层 陶瓷层 热冲击 MEMS 轴向裂纹 纳米尺度 纳米级 界面开裂 涂层 周向应力 应力 器件 基体 拉应力 圆柱 氧化 热膨胀系数 剥落失效 空气等离子喷涂 频谱位移 涂层失效 氧化生长 热冲击实验 瞬态应力 残余应力分析 演化过程 高温部件 过盈
【项目承办单位】 西北工业大学;
【项目负责人】 王峰会;
【项目来源】 国家自然科学基金项目
【涉及学科】 仪器仪表工业
【科研经费】 41万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
    【项目成果摘要】
    【发布单位】 国家自然科学基金委员会
    【发布时间】 2004-12-07
    【申请截止时间】 2005-03-31
    【立项时间】 2006-01
    【完成时间】 2008-12
    【申请条件】
    【联系方式】
    【项目信息来源】 https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp
    加载本项目科研成果产出报表....
    加载本项目科研成果....
    加载项目负责人以往科研成果....
    加载同类科研项目成果比较....
    加载本项目科研成果引证文献....
    加载学术文献....
    加载所属大项目下的其它项目....
    加载相关研究人员....
    加载相关研究机构....