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半导体芯片制造中自动化组合设备(Cluster Tool)的自适应实时运行控制研究
半导体芯片制造中自动化组合设备(Cluster Tool)的自适应实时运行控制研究
【项目名称】 半导体芯片制造中自动化组合设备(Cluster Tool)的自适应实时运行控制研究
【项目编号】 20094420110002
【项目目标】
【项目关键词】 半导体芯片;组合设备;自动化;自适应;cluster;控制研究;实时运行;
【项目承办单位】 广东工业大学
【项目负责人】 伍乃骐
【项目来源】 高等学校博士学科点专项科研基金项目
【涉及学科】 无线电电子学
【科研经费】 6万
【所属大项目】
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
      【项目成果摘要】
      【发布单位】 教育部科技发展中心
      【发布时间】 2009-02-06
      【申请截止时间】 2009-03-31
      【立项时间】 2010-03
      【完成时间】 2012-12
      【申请条件】
      【联系方式】
      【项目信息来源】 http://www.cutech.edu.cn/cn/zxgz/2010/03/1263955935460055.htm
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