| 【项目名称】 |
纳米器件制备工艺创新与应用基础研究 |
| 【项目编号】 |
2010CB934104 |
| 【项目目标】 |
【研究目标】
1.实现光子束超衍射纳米加工技术与半导体工艺的兼容，研究微纳加工过程的可靠性、均匀性及工艺稳定性，提供兼容工艺的技术途径。
2.结合光子束超衍射纳米加工技术与半导体工艺，制备出100纳米栅长的三维T型栅GaN基HEMT器件，器件工作频率大于5GHz。
3.结合光子束超衍射纳米加工技术与半导体工艺，制备出特征尺寸200纳米的大面积周期性金属微阵列传感单元结构，探索金属微结构阵列传感芯片低成本快速制作方法，其检测灵敏度优于200nm/RIU。
4.结合光子束超衍射纳米加工技术与半导体工艺，通过出制作栅长100纳米的高灵敏度In(Ga)As量子点场效应管光电传感器，实现器件的光探测功能。
【研究主要内容】
1.研究利用光子束超衍射纳米加工技术制备三维T 形栅结构的工艺，实现100nm栅长的T 形栅电极结构；探索与GaN基高电子迁移率晶体管（HEMT）器件的整体工艺流程的兼容性问题，开发新工艺方法，优化器件工艺，在T型栅电极、钝化层制备、欧姆接触等工艺上实现技术突破，提高器件制备工艺的稳定性和可靠性，实现HEMT器件的工作频率大于5GHz；研究器件的电学特性与T 型栅的栅长和结构稳定性的关系。
2.研究利用光子束超衍射纳米加工技术制备金属纳米阵列结构，探索新型纳米加工技术与半导体工艺?009-01-21 |
| 【项目关键词】 |
纳米加工;光子束;制备工艺;超衍射;纳米器件;半导体工艺;光电传感器;量子点;场效应管;均匀性;传感单元;工作频率;器件工艺;高灵敏度;栅长; |
| 【项目承办单位】 |
中国科学院半导体研究所;南开大学 |
| 【项目负责人】 |
于芳;刘忠立;韩伟华;刘思敏;王春霞;王晓峰;宁瑾;赵永梅;黄亚军;潘岭峰;归强 |
| 【项目来源】 |
国家重点基础研究发展计划（973计划）项目 |
| 【涉及学科】 |
材料科学; |
| 【科研经费】 |
283.92万 |
| 【所属大项目】 |
光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究 |
| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
科学技术部 |
| 【发布时间】 |
2009-01-21 |
| 【申请截止时间】 |
2009-03-31 |
| 【立项时间】 |
2010-01 |
| 【完成时间】 |
2014-08 |
| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
http://www.most.gov.cn/tztg/200907/t20090724_71974.htm |