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多光子纳米加工机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
多光子纳米加工机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
【项目名称】 多光子纳米加工机理、关键技术、工艺创新与应用基础研究
【项目编号】 2010CB934103
【项目目标】 【研究目标】 1.掌握多光子纳米加工的物理、化学机制，澄清决定加工分辨率与加工精度的关键因素，挑战光子束纳米加工极限，实现10纳米加工线宽。 2.掌握多光束平行加工技术，建立具有高精度、可重复、快速、三维复杂纳米结构加工的多光子纳米加工技术平台。 3.掌握实现三维纳米结构的结构功能化、材料功能化与表面功能化的原理与方法，展示基于上述原理制备的多功能三维光子晶体器件，实现阈值功率在纳焦量级的无反射镜微尺度激光器件。 4.掌握三维纳米结构在实现高灵敏度传感中的基本规律与设计原理，实现高灵敏度光化学与电化学传感器，达到10-17M以上的检测浓度。 【研究主要内容】 1.研究多光子聚合反应纳米尺度控制的物理、化学机制，设计合成高效多光子引发剂，研究光聚合引发剂浓度、阈值效应、自由基淬灭剂、预聚物组分、加工温度对加工分辨率的影响，挑战多光子加工极限分辨率。 2.研究金属纳米粒子的多光子光还原反应机理与纳米尺度控制机制；研究多光子光化学还原中表面活性剂对金属纳米粒子尺度的影响；研究激光参数对金属纳米结构尺寸、精度的影响；研究进行三维金属纳米结构的加工方法，制备三维金属纳米复杂结构。 3.研究利用衍射分光与微透镜阵列分光技术，实现密排大数目器件单元的并2009-01-21
【项目关键词】 纳米加工;纳米结构;多光子;光子束;电化学传感器;表面功能化;加工分辨率;高灵敏度;化学机制;光子晶体;超衍射;高精度;微尺度;金属纳米粒子;光化学还原;纳米尺度;
【项目承办单位】 中国科学院理化技术研究所;中国科学院半导体所
【项目负责人】 段宣明;陈懿;潘革波;蒋春萍;陈卫强;王晓东;陈茜;李云阁;金峰;董贤子;阚强
【项目来源】 国家重点基础研究发展计划（973计划）项目
【涉及学科】 材料科学;
【科研经费】 354.9万
【所属大项目】 光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究
【项目参与研究人员】
    【项目参与研究机构】
      【项目成果摘要】
      【发布单位】 科学技术部
      【发布时间】 2009-01-21
      【申请截止时间】 2009-03-31
      【立项时间】 2010-01
      【完成时间】 2014-08
      【申请条件】
      【联系方式】
      【项目信息来源】 http://www.most.gov.cn/tztg/200907/t20090724_71974.htm
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