| 【项目名称】 |
光子束超衍射纳米加工基本原理基础研究 |
| 【项目编号】 |
2010CB934101 |
| 【项目目标】 |
【研究目标】
1.解决弱光信号测量的信噪比问题，针对不同微区光化学与光物理过程的需求，建立微区飞秒、皮秒或纳秒时间分辨荧光光谱、吸收光谱和显微拉曼测量系统。
2.建立微区下多光子光聚合过程的化学动力学模型，为设计合成有利于获得纳米加工分辨率与纳米加工精度的聚合物体系提供指导。
3.澄清无掩模纳米光刻中多种非线性效应的物理机制，如光诱导瞬态自聚焦和自陷效应、瞬态等离子体形成、自组织的周期性折射率变化等瞬态非线性过程机理。
【研究主要内容】
1.研究激光参数针对不同材料产生多光子吸收与光热局域等物理效应的机制。
2.研究微纳尺度下光聚合引发剂的自由基产生机理与扩散过程，单体的布朗运动与光聚合过程之间的时间特性与关系等，建立微区下光聚合过程的化学动力学模型。
3.研究无掩模纳米光刻中材料的光诱导瞬态自聚焦和自陷效应、瞬态等离子体形成、等离子体诱导材料改性、等离子体致材料微孔、自组织的周期性折射率变化及微孔的形成等瞬态非线性过程机理。
4.使用双光束同步散射测试等办法研究自由基和小分子扩散效应对加工分辨率的影响。 |
| 【项目关键词】 |
纳米加工;光子束;超衍射;等离子体;化学动力学模型;光聚合引发剂;纳米光刻;非线性过程;自聚焦;折射率变化;纳米结构;无掩模;自组织;光诱导;自由基;微区;周期性; |
| 【项目承办单位】 |
南开大学;国家纳米科学中心 |
| 【项目负责人】 |
张心正;李乙钢;Romano A. Rupp;郭儒;陆文强;郑建亚;王奇;王振华;唐莉勤 |
| 【项目来源】 |
国家重点基础研究发展计划（973计划）项目 |
| 【涉及学科】 |
材料科学; |
| 【科研经费】 |
224.77万 |
| 【所属大项目】 |
光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究 |
| 【项目参与研究人员】 |
|
| 【项目参与研究机构】 |
|
| 【项目成果摘要】 |
|
| 【发布单位】 |
科学技术部 |
| 【发布时间】 |
2009-01-21 |
| 【申请截止时间】 |
2009-03-31 |
| 【立项时间】 |
2010-01 |
| 【完成时间】 |
2014-08 |
| 【申请条件】 |
|
| 【联系方式】 |
|
| 【项目信息来源】 |
http://www.most.gov.cn/tztg/200907/t20090724_71974.htm |