| 【项目目标】 |
【研究目标】
深入研究并解决光子束纳米加工技术中的重大关键基础科学问题，在可见光及近红外激光的纳米结构加工原理、技术及其应用方面取得突破，发展具有自主知识产权、具有国际先进水平的高精度、大面积、可重复、低成本的光子束超衍射纳米加工技术，确立在新型纳米加工技术领域国际竞争中的优势地位，增强在纳米器件研究开发领域的自主创新能力，推动我国的科技进步。
【研究主要内容】
1.光子束超衍射纳米加工原理的基础研究；
2.光子束超衍射纳米加工的关键技术基础研究与平台研制；
3.纳米结构制备工艺创新的相关基础研究；
4.纳米器件制备工艺创新与应用探索。 |