| 【项目名称】 |
激光快速渗硅过程与机理研究 |
| 【项目编号】 |
50474084 |
| 【项目目标】 |
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| 【项目关键词】 |
机理研究;激光;渗硅;快速 |
| 【项目承办单位】 |
东北大学; |
| 【项目负责人】 |
刘常升; |
| 【项目来源】 |
国家自然科学基金项目 |
| 【涉及学科】 |
冶金工业 |
| 【科研经费】 |
26万 |
| 【所属大项目】 |
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| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
国家自然科学基金委员会 |
| 【发布时间】 |
2004-01-04 |
| 【申请截止时间】 |
2004-03-31 |
| 【立项时间】 |
2005-01 |
| 【完成时间】 |
2007-12 |
| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
http://www.nsfc.gov.cn/nsfc/cen/xmzn/2004xmzn/06lh/02.htm |