| 【项目名称】 |
超分辨掩膜中功能纳米结构可控形成的动力学过程研究 |
| 【项目编号】 |
50872139 |
| 【项目目标】 |
|
| 【项目关键词】 |
超分辨;纳米结构;动力学过程;掩膜; |
| 【项目承办单位】 |
中国科学院上海光学精密机械研究所; |
| 【项目负责人】 |
王阳; |
| 【项目来源】 |
国家自然科学基金项目 |
| 【涉及学科】 |
材料科学; |
| 【科研经费】 |
35万 |
| 【所属大项目】 |
|
| 【项目参与研究人员】 |
|
| 【项目参与研究机构】 |
|
| 【项目成果摘要】 |
|
| 【发布单位】 |
国家自然科学基金委员会 |
| 【发布时间】 |
2007-12-20 |
| 【申请截止时间】 |
2008-03-20 |
| 【立项时间】 |
2009-01 |
| 【完成时间】 |
2011-12 |
| 【申请条件】 |
|
| 【联系方式】 |
|
| 【项目信息来源】 |
https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp |