| 【项目名称】 |
面向光刻机的超精密平面电机的设计与试验研究 |
| 【项目编号】 |
50775088 |
| 【项目目标】 |
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| 【项目关键词】 |
超精密平面 设计与试验 光刻机 电机 |
| 【项目承办单位】 |
华中科技大学; |
| 【项目负责人】 |
周云飞; |
| 【项目来源】 |
国家自然科学基金项目 |
| 【涉及学科】 |
无线电电子学 |
| 【科研经费】 |
38万 |
| 【所属大项目】 |
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| 【项目参与研究人员】 |
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| 【项目参与研究机构】 |
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| 【项目成果摘要】 |
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| 【发布单位】 |
国家自然科学基金委员会 |
| 【发布时间】 |
2006-12-06 |
| 【申请截止时间】 |
2007-03-31 |
| 【立项时间】 |
2008-01 |
| 【完成时间】 |
2010-12 |
| 【申请条件】 |
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| 【联系方式】 |
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| 【项目信息来源】 |
https://isis.nsfc.gov.cn/portal/proj_search.asp |